真空蒸着―それは、材料表面に高品質薄膜を生成する技術として、すでに幅広い分野で活躍してきました。
真空蒸着技術の大きな特長は、均一で高純度な成膜が可能であるということ。しかも金属、非金属を問わず、ほとんどの物質に対して適用できるため、その可能性はまさに限りないといえるでしょう。VeLL高真空蒸着装置は、真空蒸着技術の理想をカタチにした高性能装置。従来より高い真空度を安定して得られるため、さらに高品質な薄膜の生成が可能になりました。また排気、加熱系にいたるまで、装置の随所に、真空技研独自のノウハウを駆使。オプトエレクトロニクスをはじめとするハイテクノロジー分野の、多様化、高度化するニーズにも確実にお応えします。
VeLL高真空蒸着装置―長年にわたり真空蒸着に取組んできた真空技研の自信作です。